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具备自主研发的抽尘系统
钙钛矿激光划线设备
钙钛矿激光划线设备涵盖1200mm*2400mm产品激光划线,具备独立分光系统,24路光束同时加工技术,采用高速精密的气浮平台,高分辨率的CCD影像定位系统,具备自主研发的抽尘系统,支持光斑整形技术,产品具有自主知识产...
多光束整形加工
晶圆激光开槽机
晶圆激光开槽机应用定制化硅划片专用激光器 (Ns&Ps 可选),采用高速精密的直线电机二维平台和全闭环数控系统、高分辨率的CCD影像定位技术,进行多光束整形加工,设计出独特的光学系统,可实现高质量的晶圆表切,...
绿光激光器,风冷散热
晶圆背面打标机
晶圆背面打标机采用高精度运动平台和全闭环数控系统、以及高分辨率的CCD影像定位技术和AOI检测功能,可进行晶圆背面打标,实现全自动晶圆上下料,设备具有完全自主知识产权。
HBC高速光学控制模组
晶圆钻孔机
激光钻孔机采用高精度平台结构设计和定制化激光系统设计,配合HBC可提高加工效率。同时应用高分辨率的CCD影像定位技术、高速精密的直线电机模组和全闭环数控系统,支持打孔、划线等工艺的加工。激光具备E-plus功能,...
高效率正面打标
晶圆正面打标机
晶圆正面打标机采用高精度运动平台和全闭环数控系统、以及高分辨率的CCD影像定位技术和AOI检测功能,可进行晶圆正面打标,实现全自动晶圆上下料,设备具有完全自主知识产权。
多焦点任意功率控制
晶圆隐切机
晶圆隐切机应用定制化硅内切割专用激光器,可兼顾透过率和聚焦质量。同时采用高速精密的气浮平台和全闭环数控系统、高分辨率的CCD影像定位技术,支持光束整形LBC控制,支持多焦点任意功率控制,实现高质量晶圆隐切,...
高精度打标控制
晶圆ID打标机
晶圆ID打标机采用高精度运动平台和全闭环数控系统、以及高分辨率的CCD影像定位技术和AOI检测功能,可进行晶圆ID打标,实现全自动晶圆上下料,设备具有完全自主知识产权。  
高分辨率CCD视觉系统
料条切割机
料条切割机采用高精度平台结构设计和定制化激光系统设计,同时搭载高分辨率CCD视觉系统,稳定性更佳。激光具备E-plus功能,在高动态过程中也可保持脉冲能量稳定(快速改变参数,如频率)。
多材质、多尺寸打标
料条打标机
料条打标机采用双振镜双平台结构设计和定制化激光系统设计,双振镜双平台模式可以提高设备打标效率,支持Logo、二维码、字符等丰富的打标内容,可兼容不同材质、尺寸的窄板类产品,应用广泛,打标效率及效果媲美进口...
激光选择性剥离
LLO设备
LLO设备应用先进的光学原理及激光剥离技术,针对不同用户充分准备准分子、DPSS两种激光器方案,以应对多种产品的应用场景,可以高效率实现激光选择性剥离,并且剥离后良率极高。
高精度巨量转移
巨量转移
巨量转移设备采用先进的光学原理与技术和行业领先的制造工艺,突破了Micro LED 巨量转移技术的研究瓶颈,将转移精度控制在±1um,转移良率、转移效率均达行业先进水平。
精细化芯片去除
芯片去除
芯片去除设备充分利用公司在激光领域的经验积累,综合运用多种激光制备工艺,通过配备多种波长的激光器,来应对不同场景、不同产品的要求,可实现芯片精细化去除,保障芯片质量。
微孔高密度加工
FPC激光钻孔机
FPC激光钻孔机采用高频脉冲激光器,搭配自主开发的HBC光控模组,实现六轴联动,在提高生产效率的同时拥有高品质的钻孔效果,加工时能量监控系统实时监测,可保证钻孔效果的高稳定性。
国内首台,全自动切割
OLED 全自动切割机
OLED 全自动切割机为国内首台全自动穿戴线屏体切割检测设备,支持全自动屏体切割、Pad cut、AOI检测、自动区分品级等加工制程,支持来料自动拍照纠偏、扫码,在加工效率和高精度方面媲美进口设备。
精密加工 高效切割
OLED柔性屏倒角切割机
OLED柔性屏倒角切割机运用高频高功率紫外激光器,可有效减少切割次数,提高切割效率,同时,大幅面远心场镜的应用,可支持设备在应对小尺寸切割时,拥有同样高效的切割效果。
快速切割 Cutting on the fly
LCD Pol Cut全自动切割机
LCD Pol Cut全自动切割机配备精密运动平台、视觉定位系统、自动化轴及AOI,为产品的高速自动化切割加工和高品质稳定运行提供保障,同时采用Cutting on the fly 技术,搭配专业自动化技术,实现快速POL切割需求。
高稳定性 高良品率
LCD 激光端子短路环切机
LCD 激光端子短路环切机采用高分辨率的CCD影像定位技术及高速精密的直线电机模组和全闭环数控系统,激光具备E-plus功能,在高动态过程中能够保持脉冲能量稳定,同时搭配AOI和先导MES系统,可提高产品良率及人机产出...
支持丰富的打码内容
激光打码机
激光打码机可支持Logo、二维码、数字、字母等丰富的打标内容,并支持打码读码复检,激光具备E-plus功能,在高动态过程中能够保持脉冲能量稳定。  
国内首创 多图形切割
彩膜激光蚀刻机
彩膜激光蚀刻机为国内首创,打破了行业垄断,可通过多振镜同步加工不同图形,针对不同基板尺寸区块进行激光绝缘切割,且切割图样丰富,能够兼容直线,折线,非对称图形切割。
缺陷修补 自动量测
激光修复机
激光修复机采用直线型物镜切换系统,具备点缺陷搜寻功能、线缺陷搜寻功能(LDL)以及录制功能,可在修补过程中对缺陷修补拍照存档,记录ID、修补人员ID、XY坐标等信息,支持Laser能量自动量测,可设定量测周期。
激光划线加工
全自动TOPcon激光掺杂设备
TOPConSE激光掺杂设备采用自主研发专用激光器,通过激光脉冲整形技术,形成方形匀化光斑,配合高精度数字振镜,图形化后可实现与后续丝网印刷完美套印效果,掺杂设备精度高、损伤小,TOPCon电池转换效率提升0.25%以...
微孔高密度加工
PCB钻孔机
全自动PCB钻孔机采用定制化激光系统设计,采用高分辨率的CCD影像定位技术,可进行半导体3D封装激光打孔、载板ABF膜钻孔等,具有自主知识产权。