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晶圆ID打标机

晶圆ID打标机采用高精度运动平台和全闭环数控系统、以及高分辨率的CCD影像定位技术和AOI检测功能,可进行晶圆ID打标,实现全自动晶圆上下料,设备具有完全自主知识产权。
 

产品优势
视觉:±20um,平台重复:±10um,整机精度:±125um
1
兼容8,12inch 晶圆设计
2
支持功率检测,实时校正
3
激光器:定制激光器,风冷散热,模块化设计
4